IS0 14644-5 edellyttää, että kiinteiden laitteiden asennuksen puhdastiloihin tulee perustua puhdastilan suunnitteluun ja toimintaan.Seuraavat yksityiskohdat esitellään alla.
1. Laitteen asennusmenetelmä: Ihanteellinen tapa on sulkea puhdastila laitteiston asennuksen aikana ja olla ovi, joka vastaa laitteen katselukulmaa tai varata kanava laudalle, jotta uudet laitteet pääsevät läpi ja sisään puhtaana Jotta asennusvaiheen lähellä oleva puhdastila ei saastuisi, tulee suojatoimenpiteillä varmistaa, että puhdastila täyttää edelleen puhtausvaatimukset ja sen jälkeen vaadittavat työt.
2. Jos puhdastilatyötä ei voida keskeyttää jokaisen asennusjakson aikana tai jos on rakenteita, jotka on purettava, on käynnissä oleva puhdastila eristettävä tehokkaasti työalueelta: voidaan käyttää tilapäisiä eristysseiniä tai väliseiniä.Jotta asennustyötä ei estetä, laitteen ympärillä tulee olla riittävästi tilaa.Mikäli olosuhteet sallivat, eristysalueelle pääsee huoltokanavien tai muiden ei-kriittisten alueiden kautta: jos tämä ei ole mahdollista, on ryhdyttävä toimenpiteisiin asennustöiden aiheuttaman saastevaikutuksen minimoimiseksi.Eristysalueen paineen tulee olla sama tai alipaine.Puhtaan ilman syöttö on katkaistava korkealla alueella, jotta vältetään ylipaine ympäröiviin puhdastiloihin.Jos pääsy eristysalueelle tapahtuu vain viereisen puhdastilan kautta, tulee käyttää tahmeita tyynyjä lian poistamiseen kengistä.
3. Korkealle alueelle saapumisen jälkeen voidaan käyttää kertakäyttöisiä saappaita tai päällyskenkiä ja yksiosaisia työvaatteita, jotta vältetään puhtaiden vaatteiden saastuminen.Nämä kertakäyttötavarat tulee poistaa ennen karanteenialueelta poistumista.On kehitettävä menetelmiä eristysaluetta ympäröivän alueen tarkkailemiseksi laitteiston asennusprosessin aikana ja tarkkailun tiheys on määritettävä sen varmistamiseksi, että kaikki viereiseen puhdastilaan mahdollisesti vuotavat kontaminaatiot havaitaan.Eristystoimenpiteiden toteuttamisen jälkeen voidaan rakentaa erilaisia tarvittavia julkisia palvelutiloja, kuten sähkö-, vesi-, kaasu-, tyhjiö-, paineilma- ja jätevesiputkia.Toimenpiteestä syntyvän savun ja roskien hallintaan ja eristämiseen tulee kiinnittää huomiota niin paljon kuin mahdollista, jotta vältetään tahaton leviäminen ympäröivään puhdastilaan.Sen pitäisi myös helpottaa tehokasta puhdistusta ennen eristysesteen poistamista.Kun julkiset palvelutilat ovat täyttäneet käyttövaatimukset, koko eristysalue tulee puhdistaa ja dekontaminoida määrättyjen puhdistusmenetelmien mukaisesti.Kaikki pinnat, mukaan lukien kaikki seinät, laitteet (kiinteät ja siirrettävät) ja lattiat, tulee imuroida, pyyhkiä ja mopata kiinnittäen erityistä huomiota laitesuojien takana ja laitteiden alla oleviin puhdistusalueisiin.
4. Laitteen suorituskyvyn alustava testi voidaan suorittaa puhdastilan ja asennettujen laitteiden todellisten olosuhteiden perusteella, mutta myöhempi hyväksyntätestaus tulee suorittaa, kun puhtaan ympäristön ehdot täyttyvät täysin.Asennuspaikan olosuhteista riippuen voit aloittaa eristysseinän huolellisen purkamisen;jos puhtaan ilman syöttö on katkaistu, käynnistä se uudelleen;Tämän työvaiheen aika on valittava huolellisesti, jotta puhdastilan normaalia työtä ei häiritä.Tällä hetkellä saattaa olla tarpeen mitata, täyttääkö ilmassa olevien hiukkasten pitoisuus määritellyt vaatimukset.
5. Laitteiston ja tärkeimpien prosessikammioiden sisäpuolen puhdistus ja esikäsittely tulee suorittaa normaaleissa puhdashuoneolosuhteissa.Kaikki sisäkammiot ja pinnat, jotka joutuvat kosketuksiin tuotteen kanssa tai ovat mukana tuotteen kuljetuksessa, on pyyhittävä vaaditulle puhtausasteelle.Laitteen puhdistusjärjestyksen tulee olla ylhäältä alas.Jos hiukkaset leviävät, suurempia hiukkasia putoaa laitteen pohjalle tai maahan painovoiman vaikutuksesta.Puhdista laitteen ulkopinta ylhäältä alas.Tarvittaessa pintahiukkasten havaitseminen tulee suorittaa alueilla, joilla tuote- tai tuotantoprosessivaatimukset ovat kriittisiä.
6. Kun otetaan huomioon puhdastilojen ominaisuudet, erityisesti suuri pinta-ala, suuri investointi, suuri teho ja erittäin tiukat puhtausvaatimukset korkean teknologian puhdastiloissa, tuotantoprosessilaitteiden asennus tämän tyyppisissä puhtaissa tehtaissa on samankaltaista kuin tavallisista puhtaista huoneista.Tätä tarkoitusta varten vuonna 2015 julkaistu kansallinen standardi "Puhtaiden tehtaiden rakentamisen ja laadun hyväksymisen säännöstö" sisälsi joitain säännöksiä tuotantoprosessilaitteiden asentamisesta puhtaisiin tehtaisiin, mukaan lukien pääasiassa seuraavat.
①.Tuotantoprosessilaitteiden asennuksen aikana "tyhjän" hyväksynnän läpikäyneen puhdastilan saastumisen tai jopa vahingoittumisen estämiseksi laitteiston asennusprosessissa ei saa esiintyä liiallista tärinää tai kallistusta, eikä se saa jakautua ja saastuttaa laitteita. pinnat.
②.Jotta tuotantoprosessilaitteiden asennus puhtaaseen huoneeseen saadaan järjestyksessä ja ilman tai vähemmän istuen ja noudattaa puhtaan tuotannon hallintajärjestelmää puhtaassa työpajassa, varmista, että tuotantolaitteiden asennusprosessi on suojattu erilaisten " "tyhjinä" hyväksytyt valmiit tuotteet" ja "puolivalmisteet", asennusprosessissa käytettävät materiaalit, koneet jne. eivät saa päästää tai tuottaa (mukaan lukien puhtaan huoneen normaalissa käytössä pitkään aika) epäpuhtaudet, jotka ovat haitallisia valmistetuille tuotteille.Käytä puhtaita materiaaleja, jotka ovat pölyttömiä, ruostumattomia, rasvattomia ja jotka eivät tuota pölyä käytön aikana.
③.Puhdastilan rakennuksen sisustuspinta tulee suojata puhtailla, pölyttömillä levyillä, kalvoilla ja muilla materiaaleilla;laitteen taustalevy tulee tehdä suunnittelu- tai laiteteknisten asiakirjojen vaatimusten mukaisesti.Jos vaatimuksia ei ole, tulee käyttää ruostumattomia teräslevyjä tai muovilevyjä.Itsenäisiin perustuksiin ja lattiavahvikkeisiin käytettävät hiiliteräsprofiilit tulee käsitellä korroosionestoaineella, ja pinnan tulee olla tasainen ja sileä;tiivistämiseen käytetyt elastiset tiivistysmateriaalit.
④.Materiaaleihin tulee merkitä ainesosat, lajikkeet, valmistuspäivä, säilytysaika, rakennustapaohjeet ja tuotteen kelpoisuustodistukset.Puhdastiloissa käytettäviä koneita ja työkaluja ei saa siirtää ei-puhtaisiin tiloihin käyttöä varten.Koneita ja työkaluja ei saa siirtää puhdastilaan käyttöä varten.Puhtaalla alueella käytettävien koneiden ja työkalujen tulee varmistaa, että koneen paljaat osat eivät tuota pölyä, tai ryhdyttävä toimenpiteisiin pölyn estämiseksi ympäristöä saastuttamasta.Yleisesti käytetyt koneet ja työkalut tulee puhdistaa ilmalukossa ennen siirtämistä puhtaalle alueelle., tulee täyttää öljyttömän, lian, pölyttömän ja ruosteeton vaatimukset, ja se on siirrettävä sen jälkeen, kun se on läpäissyt tarkastuksen ja kiinnitetty "Puhdas"- tai "Vain puhdas alue" -kyltin.
⑤.Puhdashuoneen tuotantoprosessilaitteet on asennettava "tiettyihin kerroksiin", kuten korotettuihin lattioihin.Laitteen perustus tulee yleensä asettaa alemmalle tekniselle parvikerrokselle tai sementtihuokoiselle levylle;perustuksen asennuksen purkamista vaativat toimet Käsisähkösahalla leikatun lattian rakennetta tulee vahvistaa, eikä sen kantavuus saa olla alkuperäistä kantavuutta pienempi.Kun käytetään itsenäistä teräsrunkorakenteen perustaa, sen tulee olla galvanoitua materiaalia tai ruostumatonta terästä ja paljaspinnan tulee olla tasainen ja sileä.
⑥.Kun tuotantoprosessilaitteiden asennusprosessi puhdastilassa vaatii reikien avaamista seinäpaneeleihin, alakattoihin ja korotettuihin lattioihin, poraus ei saa halkaista tai saastuttaa seinäpaneelien ja alakattopaneelien säilytettävää pintaa.Korotetun lattian avaamisen jälkeen, kun perustusta ei voida asentaa ajoissa, tulee asentaa turvakaiteet ja vaaramerkit;kun tuotantolaitteisto on asennettu, reiän ympärillä oleva rako on tiivistettävä, ja laitteiden ja tiivistekomponenttien tulee olla joustavassa kosketuksessa ja tiivistekomponentin ja seinälevyn välisen liitoksen tulee olla tiivis ja kiinteä;tiivistepinnan työhuoneen toisella puolella tulee olla tasainen ja sileä.
Postitusaika: 06.09.2023