IS0 14644-5 edellyttää, että kiinteiden laitteiden asentamisen puhtaiden huoneiden tulisi perustua puhtaan huoneen suunnitteluun ja toimintaan. Seuraavat yksityiskohdat esitellään alla.
1. Laitteiden asennusmenetelmä: Ihanteellinen menetelmä on sulkea puhdas huone laitteiden asennusjakson aikana ja sillä on ovi, joka voi täyttää laitteiden katselukulman tai varata kanavan pöydälle, jotta uudet laitteet voivat kulkea ja päästä puhdasta Huone, jotta puhdas huone estäisi asennusjakson saastuttamisen lähellä, on toteutettava suojatoimenpiteitä sen varmistamiseksi
2. Jos puhtaan huoneen työtä ei voida pysäyttää kunkin asennusjakson aikana tai jos on rakenteita, jotka on purettava, juokseva puhdas huone on eristettävä tehokkaasti työalueelta: väliaikaisia eristysseiniä tai osioita voidaan käyttää. Laitteiden ympärillä tulisi olla riittävästi tilaa estääkseen asennustyötä. Jos olosuhteet sallivat, pääsy eristysalueelle voi tapahtua huoltokanavien tai muiden ei-kriittisten alueiden kautta: Jos tämä ei ole mahdollista, asennustyön aiheuttamat pilaantumisvaikutukset minimoidaan toimenpiteet. Eristysalueen tulisi säilyttää sama paine tai negatiivinen paine. Puhdas ilmansyöttö tulisi katkaista korkealla kerrostalolla, jotta ympäröiviin puhtaisiin huoneisiin on positiivinen paine. Jos pääsy eristysalueelle tapahtuu vain viereisen puhtaan huoneen kautta, lian poistamiseen on käytettävä tarttuvia tyynyjä kengistä.
3. Saavuttuaan korkean alueen alueelle, kertakäyttöisiä saappaita tai ylikuormituksia ja yksiosaisia työvaatteita voidaan käyttää puhtaiden vaatteiden saastuttamiseen. Nämä kertakäyttöiset esineet on poistettava ennen poistumista karanteenialueelta. Laitteiden asennusprosessin aikana eristysalueen ympäröivän alueen seuranta -alueen tarkkailumenetelmiä on määritettävä ja seurannan tiheys on määritettävä, jotta voidaan varmistaa, että viereiseen puhtaan huoneen saastumiseen voidaan varmistaa saastuminen. Kun eristystoimenpiteet on asetettu, voidaan asettaa erilaisia vaadittavia julkisen palvelun laitoksia, kuten sähkö, vesi, kaasu, tyhjiö, paineilma ja jätevesiputket. Operaation tuottamien savun ja roskien hallitsemiseksi on kiinnitettävä huomiota niin paljon kuin mahdollista, jotta vältetään tahaton leviäminen ympäröivään puhtaan huoneeseen. Sen tulisi myös helpottaa tehokasta puhdistusta ennen eristysesteen poistamista. Kun julkiset palvelut täyttävät käyttövaatimukset, koko eristysalue on puhdistettava ja puhdistettava määrättyjen puhdistusmenettelyjen mukaisesti. Kaikki pinnat, mukaan lukien kaikki seinät, laitteet (kiinteät ja siirrettävät) ja lattiat, tulisi puhdistaa, pyyhkiä ja mopia, ja kiinnitetään erityistä huomiota puhdistusalueille laitteiden vartijoiden ja laitteiden alla.
4. Alustava laitteiden suorituskyvyn testi voidaan suorittaa puhtaan huoneen ja asennetun laitteen todellisten olosuhteiden perusteella, mutta myöhempi hyväksymistestaus on suoritettava, kun puhdas ympäristöolosuhteet täyttyvät kokonaan. Asennuspaikan olosuhteista riippuen voit alkaa purkaa eristysseinämää huolellisesti; Jos puhdas ilmansyöttö on sammutettu, käynnistä se uudelleen; Tämän työvaiheen aika on valittava huolellisesti, jotta minimoidaan puhtaan huoneen normaalin työn normaalin työn minimoimiseksi. Tällä hetkellä voi olla tarpeen mitata, vastaako ilmassa olevien hiukkasten pitoisuus määriteltyihin vaatimuksiin.
5. Laitteiden sisä- ja avainprosessikammioiden puhdistaminen ja valmistus tulisi suorittaa normaaleissa puhtaissa huoneolosuhteissa. Kaikki sisäiset kammiot ja kaikki pinnat, jotka joutuvat kosketuksiin tuotteen kanssa tai jotka ovat mukana tuotekuljetuksissa, on pyydettävä vaaditulle puhtauden tasolle. Laitteiden puhdistusjakson tulisi olla ylhäältä alas. Jos hiukkaset leviävät, suuret hiukkaset putoavat laitteen pohjaan tai maahan painovoiman vuoksi. Puhdista laitteiden ulkopinta ylhäältä alas. Tarvittaessa pintapartikkelien havaitseminen tulisi suorittaa alueilla, joilla tuote- tai tuotantoprosessin vaatimukset ovat kriittisiä.
6. Puhdas huoneiden, erityisesti korkean teknologian puhtaiden huoneiden suurten sijoitusten, korkean tuotanto- ja erittäin tiukan puhtausvaatimuksen ominaisuuksien vuoksi tuotantoprosessilaitteiden asentaminen tämän tyyppiseen puhtaan tehtaaseen on samankaltainen kuin tämä tavallisista puhtaista huoneista. Tätä varten vuonna 2015 julkaistussa kansallisessa standardissa "Puhtaan tehtaan rakentamisen ja laadun hyväksymisen koodi" antoi joitain säännöksiä tuotantoprosessilaitteiden asentamisesta puhtaisiin tehtaisiin, mukaan lukien seuraavat.
①. Saastumisen tai jopa vaurioiden estämiseksi puhtaan huoneen, joka on käynyt läpi "tyhjän" hyväksynnän tuotantoprosessilaitteiden asennusprosessin aikana, laitteiden asennusprosessilla ei saa olla liiallista tärinää tai kallistusta, eikä sitä saa jakaa ja saastuttaa laitteita pinnat.
②. Tuotantoprosessilaitteiden asentamiseksi puhtaaseen huoneeseen järjestetyssä ja ilman sitä tai vähemmän istumista ja puhdasta tuotannonhallintajärjestelmää puhtaan työpajan seuraamiseksi varmista, että tuotantolaitteiden asennusprosessi on suojattu erilaisten mukaan " Valmiit tuotteet "ja" puoliksi viimeisteltyjä tuotteita ", jotka on hyväksytty" tyhjään tilaan ", materiaaleihin, koneisiin jne., joita on käytettävä asennusprosessissa, ei saa lähettää tai voi tuottaa (mukaan lukien puhtaan huoneen normaalissa toiminnassa pitkään aika) epäpuhtaudet, jotka ovat haitallinen tuotetuille tuotteille. Puhtaita materiaaleja, jotka ovat pölyttömiä, ruostetonta, rasvatonta ja eivät tuota pölyä käytön aikana.
③. Puhtaan huoneen rakennuksen sisustuspinta on suojattava puhtailla, pölyttömillä levyillä, kalvoilla ja muilla materiaaleilla; Laitteiden taustalevy tulisi tehdä suunnittelun tai laitteiden teknisten asiakirjojen vaatimusten mukaisesti. Jos vaatimuksia ei ole, ruostumattomasta teräksestä valmistettuja levyjä tai muovilevyjä tulisi käyttää. Hiiliteräsprofiilit, joita käytetään riippumattomiin säätiöihin ja lattiavahvikkeisiin, tulisi käsitellä korroosion vastaisella, ja pinnan tulisi olla tasainen ja sileä; Joustavat tiivistysmateriaalit, joita käytetään tiivistämiseen.
④. Materiaalit tulisi merkitä ainesosilla, lajikkeilla, valmistuspäivänä, varastointivarausaika, rakennusmenetelmäohjeet ja tuotteiden pätevyystodistukset. Puhtaissa huoneissa käytettyjä koneita ja työkaluja ei saa siirtää käytettäväksi ei-puhdashuoneisiin. Koneet ja työkaluja ei saa siirtää puhdashuoneeseen käytettäväksi. Puhtaalla alueella käytettyjen koneiden ja työkalujen tulisi varmistaa, että koneen paljaat osat eivät tuota pölyä tai ryhdytään toimenpiteisiin ympäristön saastuttamisen pölyn estämiseksi. Yleisesti käytetyt koneet ja työkalut on puhdistettava lentoyhtiössä ennen siirtämistä puhtaaseen alueelle. , tulisi täyttää öljyvapaiden, likavapaiden, pölyttömien ja ruostevapaiden vaatimukset, ja sitä tulisi siirtää tarkistuksen ohittamisen jälkeen ja vain "puhdas" tai "puhdas alue" -merkin kiinnittämisen jälkeen.
⑤. Puhtaan huoneen tuotantoprosessin laitteet on asennettava "erityisiin lattioihin", kuten korotetuihin lattioihin. Laiteperusta tulisi yleensä asettaa alemmalle tekniselle mezzaniinilattialle tai sementti -huokoiselle levylle; Aktiviteetit, jotka on purettava perustan asentamiseksi lattian rakenteen sen jälkeen, kun se on leikattu kädessä pidettävällä sähkösahalla, on vahvistettava, ja sen kuormituskyvyn ei tulisi olla alhaisempi kuin alkuperäinen kuormituskyky. Kun käytetään teräskehysrakenteen riippumatonta perustaa, se tulisi tehdä galvanoidusta materiaalista tai ruostumattomasta teräksestä, ja paljatun pinnan tulisi olla tasainen ja sileä.
⑥. Kun tuotantoprosessien asennusprosessi puhdasta huoneessa vaatii seinäpaneelien, ripustetun katon ja korotetun lattian aukkoja, poraustoimenpiteet eivät saa jakaa tai saastuttaa seinäpaneelien pintoja ja ripustettuja kattopaneeleja, jotka on pidätettävä. Korotetun lattian avaamisen jälkeen, kun säätiötä ei voida asentaa ajoissa, turvasuojakaiteet ja vaaramerkit on asennettava; Kun tuotantolaitteet on asennettu, aukko reiän ympärillä on suljettava, ja laitteiden ja tiivistekomponenttien tulee olla joustavassa kosketuksessa, ja tiivistyskomponentin ja seinälevyn välisen yhteyden tulee olla tiukka ja kiinteä; Työllisyyden toisella puolella olevan tiivistimen tulisi olla tasainen ja sileä.
Viestin aika: SEP-06-2023