Sirunvalmistusteollisuuden sirun saanto liittyy läheisesti sirulle kerrostettujen ilmahiukkasten kokoon ja lukumäärään. Hyvä ilmavirran organisaatio voi viedä pölylähteistä syntyneet hiukkaset pois puhtaasta huoneesta ja varmistaa puhtaan huoneen puhtaus. Toisin sanoen puhtaiden huoneiden ilmavirtaorganisaatiolla on tärkeä rooli sirujen tuotannossa. Puhtaan huoneen ilmavirran organisaation suunnittelussa saavuttavat tavoitteet ovat: pyörrevirtojen vähentäminen tai poistaminen virtauskentällä haitallisten hiukkasten pidättämisen välttämiseksi; sopivan positiivisen painegradientin ylläpitämiseksi ristikontaminaation estämiseksi.
Puhtaan huoneen periaatteen mukaan hiukkasiin vaikuttavat voimat sisältävät massavoima, molekyylivoima, hiukkasten välinen vetovoima, ilmavirtavoima jne.
Ilmavirtavoima: Viittaa ilmavirran voimaan, joka aiheutuu tarjonnasta ja palautusta ilmavirtauksesta, lämpökonvektion ilmavirran, keinotekoisen sekoittamisen ja muiden ilmavirtojen, joilla on tietty virtausnopeus hiukkasten kuljettamiseksi. Puhtaan huoneen ympäristötekniikan hallintaan ilmavirtavoima on tärkein tekijä.
Kokeet ovat osoittaneet, että ilmavirran liikkeessä hiukkaset seuraavat ilmavirtaa melkein täsmälleen samalla nopeudella. Hiukkasten tila ilmassa määritetään ilmavirran jakautumisella. Ilmavirran päävaikutuksiin sisätilojen hiukkasiin kuuluvat: Ilman syöttöilmavirta (mukaan lukien ensisijainen ilmavirta ja toissijainen ilmavirta), ilmavirta ja lämpövirtaus ilmavirta, joka aiheutuu kävelevien ihmisten aiheuttamista ja ilmavirran vaikutuksista prosessitoimintojen ja teollisuuslaitteiden aiheuttamiin hiukkasiin. Erilaiset ilmansyöttömenetelmät, nopeusrajapinnat, operaattorit ja teollisuuslaitteet, indusoidut ilmiöt jne. Puhtaissa ovat kaikki tekijöitä, jotka vaikuttavat puhtauden tasoon.
1. Ilmansyöttömenetelmän vaikutus
(1) ilmansyöttönopeus
Yhdenmukaisen ilmanvirtauksen varmistamiseksi ilmansuuntaisen virtauksen puhtaan huoneen ilmansyöttönopeuden on oltava tasainen; Ilman syöttöpinnan kuolleen vyöhykkeen on oltava pieni; ja myös HEPA -suodattimen paineen pudotus on oltava tasainen.
Ilmansyöttönopeus on tasainen: toisin sanoen ilmavirran epätasaisuutta säädetään ± 20%: n sisällä.
Ilmansyöttöpinnalla on vähemmän kuollutta tilaa: HEPA -kehyksen tasoa ei pidä vain vähentää, mutta mikä tärkeintä, modulaarista FFU: ta tulisi käyttää redundanssin kehyksen yksinkertaistamiseen.
Jotta ilmavirta on pystysuora ja yksisuuntainen, suodattimen paineen pudotusvalinta on myös erittäin tärkeä, ja vaaditaan, että suodattimen painehäviö ei voi olla puolueellinen.
(2) Vertailu FFU -järjestelmän ja aksiaalivirtauksen tuulettimen välillä
FFU on ilmansyöttöyksikkö, jossa on tuuletin ja HEPA -suodatin. Ilma imee FFU: n keskipako -tuuletin ja muuntaa dynaamisen paineen staattiseksi paineeksi ilmakanavassa. HEPA -suodatin puhaltaa sen tasaisesti. Ilman syöttöpaine kattoon on negatiivinen paine. Tällä tavoin mikään pöly ei vuoda puhtaaseen huoneeseen vaihdettaessa suodatinta. Kokeet ovat osoittaneet, että FFU -järjestelmä on parempi kuin aksiaalin virtauspuhallinjärjestelmä ilman poistoaukon yhtenäisyyden, ilmanvirtauksen rinnakkaisuuden ja ilmanvaihto -tehokkuusindeksin suhteen. Tämä johtuu siitä, että FFU -järjestelmän ilmavirta on parempi. FFU -järjestelmän käyttö voi parantaa ilmavirran organisaatiota puhtaassa huoneessa.
(3) FFU: n oman rakenteen vaikutus
FFU koostuu pääasiassa puhaltimista, suodattimista, ilmavirtaoppaista ja muista komponenteista. HEPA -suodatin on tärkein takuu puhdasta huoneelle suunnittelun edellyttämän vaaditun puhtauden saavuttamiseksi. Suodattimen materiaali vaikuttaa myös virtauskentän yhtenäisyyteen. Kun suodattimen poistoon lisätään karkea suodatinmateriaali tai virtauslevy, poistovirtauskenttä voidaan tehdä helposti tasaiseksi.
2. Nopeusrajapinnan vaikutus erilaisella puhtaudella
Samassa puhtaassa huoneessa, työalueen ja ei-työalueen välissä, jolla on pystysuuntainen yksisuuntainen virtaus, HEPA-laatikon ilmanopeuden eron vuoksi tapahtuu rajapinnalla sekoitettu pyörrevaikutus, ja tästä rajapinnasta tulee turbulentti Ilmavirtavyöhyke. Ilmaturbulenssin voimakkuus on erityisen vahva, ja hiukkaset voivat siirtyä laitteen koneen pintaan ja saastuttaa laitteet ja kiekot.
3. Vaikutus henkilöstöön ja laitteisiin
Kun puhdas huone on tyhjä, huoneen ilmavirtaominaisuudet täyttävät yleensä suunnitteluvaatimukset. Kun laitteet saapuvat puhdashuoneeseen, ihmiset liikkuvat ja tuotteet kuljetetaan, ilmavirran organisaatiolle on väistämättä esteitä, kuten laitteiden koneesta ulkonevat terävät kohdat. Kulmien tai reunojen kohdalla kaasu ohjataan turbulenttisen virtausalueen muodostamiseksi, eikä alueen nestettä helposti kuljeta, mikä aiheuttaa pilaantumista.
Samanaikaisesti mekaanisten laitteiden pinta lämmitetään jatkuvan toiminnan vuoksi, ja lämpötilagradientti aiheuttaa reflöintipinta -alaa koneen lähellä, mikä lisää hiukkasten kertymistä reflöw -alueelle. Samanaikaisesti korkea lämpötila aiheuttaa hiukkasten helposti paeta. Kaksoisvaikutus tehostaa kokonaispystyskerrosta. Vaikeus virran puhtauden hallitsemiseksi. Puhtaan huoneen operaattoreiden pöly voi helposti tarttua näillä reflw -alueilla oleviin kiekkoihin.
4. Paluuilmakerroksen vaikutus
Kun lattian läpi kulkevan paluu ilman vastus on erilainen, paine -ero tapahtuu, aiheuttaen ilman virtauksen pienen vastussuuntaan, eikä tasaista ilmavirtausta saatu. Nykyinen suosittu suunnittelumenetelmä on käyttää korotettua lattiaa. Kun korotetun lattian avaussuhde on 10%, ilmavirran nopeus voidaan jakaa tasaisesti sisätilojen työkorkeuteen. Lisäksi siivoustyöhön olisi kiinnitettävä tiukkaa huomiota lattian pilaantumisen lähteen vähentämiseksi.
5. Induktioilmiö
Niin kutsuttu induktioilmiö viittaa ilmavirran tuottavan ilmiön vastakkaiseen suuntaan kuin tasainen virtaus, aiheuttaen huoneessa tuotettua pölyä tai pölyä vierekkäisissä saastuneissa alueissa vastatuuleen puolelle, aiheuttaen siten pölyn saastuttamaan kiekon. Mahdolliset indusoidut ilmiöt sisältävät seuraavat:
(1) sokea levy
Puhtaassa huoneessa, jossa on pystysuora yksisuuntainen virtaus, seinällä olevien nivelten takia on yleensä suuria sokeita paneeleja, jotka tuottavat turbulenttista virtausta ja paikallista takaisinvirtausta.
(2) lamput
Puhtaan huoneen valaisimilla on suurempi vaikutus. Koska loisteputken lampun lämpö aiheuttaa ilmavirran nousun, loisteputkesta ei tule turbulenttia aluetta. Yleensä puhtaan huoneen lamput on suunniteltu kyynelmuotoon lamppujen vaikutuksen vähentämiseksi ilmavirran organisaatioon.
(3) seinien väliset aukot
Kun osioseinien tai kattojen välillä on aukkoja, joilla on erilaisia puhtausvaatimuksia, pölyä alueille, joilla on alhaiset puhtausvaatimukset, voidaan siirtää vierekkäisille alueille, joilla on suuret puhtausvaatimukset.
(4) Mekaanisen laitteen ja lattian tai seinän välinen etäisyys
Jos mekaanisten laitteiden ja lattian tai seinän välinen rako on pieni, esiintyy palautunutta turbulenssia. Siksi jätä rako laitteen ja seinän väliin ja nosta konekasva vältettäksesi suoran kosketuksen maahan.
Viestin aika: Nov-02-2023