Sirun tuotonopeus IC -valmistusteollisuudessa liittyy läheisesti sirulle kerrostettujen ilmahiukkasten kokoon ja lukumäärään. Hyvä ilmavirtaorganisaatio voi viedä pölylähteen tuottamat hiukkaset pois puhtaasta huoneesta varmistaakseen puhtaan huoneen puhtauden, toisin sanoen puhtaan huoneen ilmavirran organisaatiolla, on elintärkeä rooli IC -tuotannon tuotonopeudessa. Ilmavirran organisaation suunnittelun puhtaassa huoneessa on saavutettava seuraavat tavoitteet: Vähennä tai eliminoida pyörrevirta virtauskentällä, jotta vältetään haitallisten hiukkasten pidättäminen; Pidä asianmukainen positiivinen painegradientti ristikontaminaation estämiseksi.
Ilmavirtavoima
Puhtaan huoneen periaatteen mukaan hiukkasiin vaikuttavat voimat sisältävät massavoima, molekyylivoima, hiukkasten välinen vetovoima, ilmavirtavoima jne.
Ilmavirtavoima: Viittaa synnytyksen, palauttamisen ilmavirran, lämpövirtauksen ilmavirran, keinotekoisen sekoittamisen ja muiden ilmavirtojen aiheuttaman ilmavirran voimaan, jolla on tietty virtausnopeus hiukkasten kuljettamiseksi. Puhtaan huoneen ympäristöympäristön teknisen hallinnan kannalta ilmavirtavoima on tärkein tekijä.
Kokeet ovat osoittaneet, että ilmavirran liikkeessä hiukkaset seuraavat ilmavirran liikettä melkein samalla nopeudella. Hiukkasten tila ilmassa määritetään ilmavirran jakauman avulla. Sisätilojen hiukkasiin vaikuttaviin ilmavirtaihin kuuluvat pääasiassa: Ilman syöttöilmavirta (mukaan lukien ensisijainen ilmavirta ja toissijainen ilmavirta), ilmavirta ja lämpövirtaus ilmavirta, jonka aiheuttavat ihmiset ja prosessitoiminnan ja teollisuuslaitteiden aiheuttama ilmavirta. Erilaiset ilmansyöttömenetelmät, nopeusrajapinnat, operaattorit ja teollisuuslaitteet sekä puhtaiden huoneiden aiheuttamat ilmiöt ovat kaikki puhtauteen vaikuttavia tekijöitä.
Ilmavirran organisaatioon vaikuttavat tekijät
1. Ilmansyöttömenetelmän vaikutus
(1). Ilmansyöttönopeus
Yhdenmukaisen ilmavirran varmistamiseksi ilmansyöttönopeuden on oltava tasainen yksisuuntaisessa puhtaassa huoneessa; Ilman syöttöpinnan kuolleen alueen on oltava pieni; ja myös ULPA: n painehäviön on oltava tasainen.
Yhdenmukainen ilmansyöttönopeus: Eli ilmavirran epätasaisuutta säädetään ± 20%: n sisällä.
Vähemmän kuollut vyöhyke ilmansyöttöpinnalla: ULPA -kehyksen tasopinta -alaa ei pidä vain vähentää, mutta mikä tärkeintä, modulaarinen FFU tulisi ottaa käyttöön redundanssin kehyksen yksinkertaistamiseksi.
Pystysuuntaisen yksisuuntaisen ilmavirran varmistamiseksi myös suodattimen paineen pudotusvalinta on erittäin tärkeä, mikä vaatii, että suodattimen painehäviö ei voi poikkeaa.
(2). Vertailu FFU -järjestelmän ja aksiaalisen virtauspuhaltimen järjestelmän välillä
FFU on ilmansyöttöyksikkö, jossa on tuuletin ja suodatin (ULPA). Kun FFU: n keskipakoispuhallin imee ilmaa, dynaaminen paine muuttuu staattiseksi paineeksi ilmakanavassa ja puhalletaan tasaisesti ULPA: n avulla. Kattopaine ilmansyöttöpaine on negatiivinen paine, joten pöly ei vuoda puhtaaseen huoneeseen, kun suodatin vaihdetaan. Kokeet ovat osoittaneet, että FFU -järjestelmä on parempi kuin aksiaalin virtauspuhaltimen järjestelmä ilman poistoaukon tasaisuuden, ilmavirtauksen rinnakkaisuuden ja ilmanvaihto -tehokkuusindeksin suhteen. Tämä johtuu siitä, että FFU -järjestelmän ilmavirta on parempi. FFU -järjestelmän käyttö voi tehdä ilmavirran puhtaassa huoneessa paremmin järjestettyjä.
(3). FFU: n oman rakenteen vaikutus
FFU koostuu pääasiassa tuulettimista, suodattimista, ilmavirta -ohjauslaitteista ja muista komponenteista. Erittäin korkea tehokkuussuodatin ULPA on tärkein takuu sille, voiko puhdas huone saavuttaa suunnittelun vaaditun puhtauden. Suodattimen materiaali vaikuttaa myös virtauskentän yhtenäisyyteen. Kun suodatinpoistoon lisätään karkeasuodatinmateriaali tai laminaarinen virtauslevy, poistoaukkovirtauskenttä voidaan tehdä helposti tasaiseksi.
2. Puhtauden eri nopeusrajapintojen vaikutus
Samassa puhtaassa huoneessa, työalueen ja ei-toiminnan alueen välissä vertikaalisen yksisuuntaisen virtauksen välillä ULPA-poistoaukossa olevien ilmanopeuden erojen vuoksi, rajapinnalla syntyy sekoitettu pyörrevaikutus, ja tästä rajapinnasta tulee turbulentti Ilmavirtavyöhyke, jolla on erityisen korkea ilman turbulenssin voimakkuus. Hiukkaset voidaan siirtää laitteen pintaan ja saastuttaa laitteet ja kiekot.
3. Henkilöstön ja laitteiden vaikutus
Kun puhdas huone on tyhjä, huoneen ilmavirtaominaisuudet täyttävät yleensä suunnitteluvaatimukset. Kun laitteet saapuvat puhtaaseen huoneeseen, henkilöstön liikkuminen ja tuotteet välitetään, ilmavirran organisaatiolle on väistämättä esteitä. Esimerkiksi laitteiden ulkonevassa kulmissa tai reunoissa kaasu ohjataan turbulenttisen vyöhykkeen muodostamiseksi, ja kaasu ei ole helposti kuljeta vyöhykkeen nestettä, mikä aiheuttaa pilaantumista. Samanaikaisesti laitteen pinta kuumenee jatkuvan toiminnan takia, ja lämpötilagradientti aiheuttaa reflöintivyöhykkeen lähellä koneen, joka lisää hiukkasten kertymistä reflöintivyöhykkeelle. Samanaikaisesti korkea lämpötila aiheuttaa hiukkasten helposti paeta. Kaksoisvaikutus pahentaa vaikeutta hallita pystysuuntaista laminaarista puhtautta. Puhtaan huoneen käyttäjien pöly on erittäin helppo tarttua näillä reflw -vyöhykkeillä oleville kiekkoille.
4. Paluuilmakerroksen vaikutus
Kun lattian läpi kulkevan paluu ilman vastus on erilainen, tuotetaan paine -ero, jotta ilma virtaa vähemmän vastus suuntaan ja tasaista ilmavirtaa ei saa. Nykyinen suosittu suunnittelumenetelmä on käyttää kohonneita lattiaa. Kun kohonneiden lattioiden avausaste on 10%, huoneen työkorkeuden ilmavirran nopeus voidaan jakaa tasaisesti. Lisäksi puhdistustyöhön olisi kiinnitettävä tiukkaa huomiota lattian pilaantumisen lähteen vähentämiseksi.
5. Induktioilmiö
Niin kutsuttu induktioilmiö viittaa ilmiöön, jonka mukaan ilmavirta syntyy tasaisen virtauksen vastakkaiseen suuntaan ja huoneessa syntynyt pöly tai viereisen saastuneen alueen pöly indusoidaan vastatuuleen puolelle siten, että pöly pöly voi saastuttaa sirun. Seuraavat ovat mahdolliset induktioilmiöt:
(1). Sokea levy
Puhtaassa huoneessa, jossa on pystysuuntainen yksisuuntainen virtaus, seinämän nivelten takia on yleensä suuria sokeat levyt, jotka tuottavat turbulenssin paikallisessa paluuvirtauksessa.
(2). Lamput
Puhtaan huoneen valaisimilla on suurempi vaikutus. Koska loistelamppujen lämpö aiheuttaa ilmavirran nousun, loisteputkien alla ei ole turbulenssia aluetta. Yleensä puhtaan huoneen lamput on suunniteltu kyynelmuotoon lamppujen vaikutuksen vähentämiseksi ilmavirran organisaatioon.
(3.) Seinien väliset aukot
Kun osien välillä on aukkoja, joilla on erilaiset puhtausasteet tai osioiden ja kattojen välillä, alueen pöly, jolla on alhaiset puhtausvaatimukset, voidaan siirtää viereiselle alueelle, jolla on suuret puhtausvaatimukset.
(4). Etäisyys koneen ja lattian tai seinän välillä
Jos koneen ja lattian tai seinän välinen rako on hyvin pieni, se aiheuttaa palautuneen turbulenssin. Siksi jätä rako laitteen ja seinän väliin ja nosta kone, jotta vältetään koneen koskettaminen suoraan maahan.
Viestin aika: helmikuu 05-2025