Ympäristönsuojelulle kiinnitetään yhä enemmän huomiota, etenkin utu -sää lisääntyessä. Puhtaan huoneen tekniikka on yksi ympäristönsuojelutoimenpiteistä. Kuinka käyttää puhdasta huoneen tekniikkaa hyvää työtä ympäristönsuojelussa? Puhutaan puhtaan huoneen tekniikan hallinnasta.
Lämpötilan ja kosteuden hallinta puhtaassa huoneessa
Puhtaan tilojen lämpötila ja kosteus määritetään pääasiassa prosessivaatimusten perusteella, mutta prosessivaatimusten täyttämisessä ihmisen mukavuus olisi otettava huomioon. Ilmapuhdistuksen vaatimusten parantamisen myötä prosessin lämpötila- ja kosteuden tiukemmat vaatimukset ovat tiukempia.
Yleisenä periaatteena prosessoinnin kasvavan tarkkuuden vuoksi lämpötilan vaihtelualueen vaatimukset ovat pienentyneet. Esimerkiksi suuren mittakaavan integroidun piirin tuotannon litografiassa ja altistumisprosessissa, joka on maskin materiaalina käytettyjen lasin laajenemiskertoimen välinen ero lasin ja piin kiekkojen välillä on yhä pienempiä.
Piihiekka, jonka halkaisija on 100 μm, aiheuttaa lineaarisen laajentumisen 0,24 μm, kun lämpötila nousee yhdellä asteella. Siksi vakio lämpötila ± 0,1 ℃ on välttämätön, ja kosteusarvo on yleensä alhainen, koska hikoituksen jälkeen tuote on saastunut, etenkin puolijohdetyöpajoissa, jotka pelkäävät natriumia. Tämän tyyppinen työpaja ei saisi ylittää 25 ℃.
Liiallinen kosteus aiheuttaa enemmän ongelmia. Kun suhteellinen kosteus ylittää 55%, tiivistyminen muodostuu jäähdytysvesiputken seinämään. Jos sitä esiintyy tarkkuuslaitteissa tai piireissä, se voi aiheuttaa erilaisia onnettomuuksia. Kun suhteellinen kosteus on 50%, se on helppo ruostaa. Lisäksi, kun kosteus on liian korkea, piin kiekon pintaan tarttuva pöly adsorboituu pinnalle kemiallisesti ilmamolekyylien läpi, jota on vaikea poistaa.
Mitä korkeampi suhteellinen kosteus, sitä vaikeampaa on poistaa tarttuvuus. Kuitenkin, kun suhteellinen kosteus on alle 30%, hiukkaset adsorboivat myös pinnalle helposti sähköstaattisen voiman vaikutuksen vuoksi, ja suuri joukko puolijohdelaitteita on alttiita hajoamiseen. Piilakoneen tuotannon optimaalinen lämpötila-alue on 35-45%.
Ilmanpainehallintapuhtaassa huoneessa
Useimmissa puhtaissa tiloissa ulkoisen pilaantumisen estämiseksi tunkeutumisen on välttämätöntä ylläpitää sisäistä painetta (staattinen paine) korkeana kuin ulkoinen paine (staattinen paine). Paineeron ylläpitämisen tulisi yleensä noudattaa seuraavia periaatteita:
1. Puhtaiden tilojen paineen tulisi olla korkeampi kuin puhtaissa tiloissa.
2. Paineen tiloissa, joilla on korkea puhtaustasot, tulisi olla korkeampi kuin viereisissä tiloissa, joilla on alhainen puhtausaste.
3. Puhtaan huoneiden väliset ovet tulee avata kohti huoneita, joilla on korkea puhtaus.
Paineeron ylläpitäminen riippuu raikkaan ilman määrästä, jonka pitäisi pystyä kompensoimaan ilmavuoto rakoon tämän paine -eron alla. Joten paine -eron fyysinen merkitys on vuotojen (tai tunkeutumisen) ilman vastus puhtaan huoneen eri aukkojen läpi.
Viestin aika: heinäkuu-21-2023