Ympäristönsuojeluun kiinnitetään yhä enemmän huomiota, erityisesti usvaisen sään lisääntyessä. Puhdastilojen suunnittelu on yksi ympäristönsuojelutoimista. Kuinka käyttää puhdastilatekniikkaa hyvän työn tekemiseen ympäristönsuojelussa? Puhutaanpa puhdastilatekniikan ohjauksesta.
Lämpötilan ja kosteuden säätö puhdastilassa
Puhtaiden tilojen lämpötila ja kosteus määräytyvät pääosin prosessivaatimusten perusteella, mutta prosessivaatimuksia täytettäessä tulee ottaa huomioon ihmisen mukavuus. Ilman puhtausvaatimusten parantuessa prosessissa on trendi tiukemmat lämpötila- ja kosteusvaatimukset.
Yleisenä periaatteena on, että käsittelyn tarkkuuden lisääntyessä lämpötilan vaihtelualueen vaatimukset pienenevät koko ajan. Esimerkiksi laajamittaisen integroidun piirituotannon litografiassa ja valotusprosessissa ero lämpölaajenemiskertoimessa maskimateriaaleina käytettävien lasi- ja piikiekkojen välillä on tulossa yhä pienemmäksi.
Piikiekko, jonka halkaisija on 100 μm, aiheuttaa 0,24 μm lineaarisen laajenemisen lämpötilan noustessa 1 asteen. Siksi tarvitaan vakiolämpötila ± 0,1 ℃, ja kosteusarvo on yleensä alhainen, koska hikoilun jälkeen tuote saastuu, etenkin natriumia pelkäävissä puolijohdepajoissa. Tämäntyyppinen työpaja ei saa ylittää 25 ℃.
Liiallinen kosteus aiheuttaa lisää ongelmia. Kun suhteellinen kosteus ylittää 55 %, jäähdytysvesiputken seinämään muodostuu kondensaatiota. Jos sitä esiintyy tarkkuuslaitteissa tai piireissä, se voi aiheuttaa erilaisia onnettomuuksia. Kun suhteellinen kosteus on 50 %, se ruostuu helposti. Lisäksi, kun kosteus on liian korkea, piikiekon pintaan tarttuva pöly adsorboituu kemiallisesti pinnalle ilmassa olevien vesimolekyylien kautta, jota on vaikea poistaa.
Mitä korkeampi suhteellinen kosteus on, sitä vaikeampaa on poistaa tartunta. Kuitenkin, kun suhteellinen kosteus on alle 30 %, myös hiukkaset adsorboituvat helposti pintaan sähköstaattisen voiman vaikutuksesta ja monet puolijohdelaitteet ovat alttiita hajoamiselle. Optimaalinen lämpötila-alue piikiekkojen valmistukseen on 35-45 %.
Ilmanpaineohjatapuhtaassa huoneessa
Useimmissa puhtaissa tiloissa ulkoisen saasteen tunkeutumisen estämiseksi sisäinen paine (staattinen paine) on pidettävä korkeampana kuin ulkoinen paine (staattinen paine). Paine-eron ylläpidon tulee yleensä noudattaa seuraavia periaatteita:
1. Puhtaiden tilojen paineen tulee olla korkeampi kuin ei-puhtaissa tiloissa.
2. Korkean puhtaustason tilojen paineen tulee olla korkeampi kuin vierekkäisissä tiloissa, joissa puhtausaste on alhainen.
3. Puhdashuoneiden väliset ovet tulee avata korkean puhtaustason tiloihin.
Paine-eron ylläpito riippuu raitisilman määrästä, jonka pitäisi kyetä kompensoimaan ilmavuotoa raosta tämän paine-eron alaisena. Joten paine-eron fyysinen merkitys on vuoto- (tai tunkeutumis-) ilman virtauksen vastus puhtaassa tilassa olevien erilaisten rakojen läpi.
Postitusaika: 21.7.2023