1. Puhdastilassa tulisi olla erityyppisiä kemikaalien varastointi- ja jakelutiloja tuotteen tuotantoprosessin vaatimusten ja kemikaalin fysikaalisten ja kemiallisten ominaisuuksien perusteella. Tarvittavien kemikaalien toimittamiseen tuotantolaitteisiin tulisi käyttää putkistoja. Puhdastilan kemikaalien varastointi- ja jakelutilat sijaitsevat tyypillisesti aputuotantoalueella, tyypillisesti yksi- tai monikerroksisen rakennuksen pohjakerroksessa ulkoseinän lähellä. Kemikaalit tulee varastoida erikseen niiden fysikaalisten ja kemiallisten ominaisuuksien mukaan. Yhteensopimattomat kemikaalit tulee sijoittaa erillisiin kemikaalien varastointi- ja jakelutiloihin, jotka on erotettu toisistaan kiinteillä väliseinillä. Vaaralliset kemikaalit tulee varastoida erillisissä varastointi- tai jakelutiloissa, joiden vierekkäisten huoneiden välinen palonkestävyysluokitus on vähintään 2,0 tuntia. Näiden huoneiden tulisi sijaita tuotantorakennuksen ensimmäisessä kerroksessa olevassa huoneessa ulkoseinän lähellä.
2. Elektroniikkateollisuuden puhdastiloissa on usein varasto- ja jakelutiloja hapoille ja emäksille sekä syttyville liuottimille. Happojen varasto- ja jakelutiloissa on tyypillisesti rikkihapon, fosforihapon, fluorivetyhapon ja suolahapon varastointi- ja jakelujärjestelmät. Emästen varastointi- ja jakelutiloissa on tyypillisesti natriumhydroksidin, hydroksidikakun, ammoniumhydroksidin ja tetrametyyliammoniumhydroksidin varastointi- ja jakelujärjestelmät. Syttyvien liuottimien varastointi- ja jakelutiloissa on tyypillisesti orgaanisten liuottimien, kuten isopropyylialkoholin (IPA), varastointi- ja jakelujärjestelmät. Integroitujen piirilevyjen valmistustehtaiden puhdastiloissa on myös kiillotuslietteen varastointi- ja jakelutiloja. Kemikaalien varastointi- ja jakelutilat sijaitsevat tyypillisesti aputuotanto- tai tukialueilla lähellä tai vieressä puhtaita tuotantoalueita, tyypillisesti ensimmäisessä kerroksessa, josta on suora pääsy ulos.
3. Kemikaalien varastointi- ja jakelutilat on varustettu erikokoisilla varastosäiliöillä tai -säiliöillä, jotka perustuvat tuotteiden valmistuksessa tarvittavien kemikaalien tyyppiin, määrään ja käyttöominaisuuksiin. Standardien ja määräysten mukaisesti kemikaalit on varastoitava erikseen ja luokiteltava. Käytettyjen säiliöiden tai säiliöiden kapasiteetin tulee riittää seitsemän päivän kemikaalien kulutukseen. Lisäksi on oltava päivittäisiä säiliöitä tai säiliöitä, joiden kapasiteetti riittää kattamaan tuotteiden valmistuksessa tarvittavien kemikaalien 24 tunnin kulutuksen. Syttyvien liuottimien ja hapettavien kemikaalien varastointi- ja jakelutilojen tulee olla erillisiä ja erotettuja viereisistä huoneista kiinteillä palonkestävillä seinillä, joiden palonkestävyysluokitus on 3,0 tuntia. Jos varastotilat sijaitsevat monikerroksisen rakennuksen ensimmäisessä kerroksessa, ne tulee erottaa muista tiloista palamattomilla lattioilla, joiden palonkestävyysluokitus on vähintään 1,5 tuntia. Puhdastilan kemikaaliturvallisuus- ja valvontajärjestelmän keskitetty valvomohuone tulee sijoittaa erilliseen huoneeseen.
4. Puhdastilan kemikaalien varastointi- ja jakelutilojen korkeus tulee määrittää laitteiden ja putkistojen sijoitteluvaatimusten perusteella, eikä sen tulisi yleensä olla alle 4,5 metriä. Jos kemikaalien varastointi- ja jakelutila sijaitsee puhdastilan aputuotantoalueella, sen korkeuden tulee olla rakennuksen korkeuden mukainen.
Julkaisun aika: 1. elokuuta 2025