Palontorjuntalaitteet ovat tärkeä osa puhdastilaa. Niiden merkitys ei johdu pelkästään sen prosessilaitteiden ja rakennusprojektien kalleudesta, vaan myös siitä, että puhdastilat ovat suhteellisen suljettuja rakennuksia, ja jotkut ovat jopa ikkunattomia työpajoja. Puhdastilan käytävät ovat kapeita ja mutkikkaita, mikä vaikeuttaa henkilöstön evakuointia ja tulipalon syttymistä. Ihmishengen ja omaisuuden turvallisuuden varmistamiseksi suunnittelussa tulisi toteuttaa palontorjuntapolitiikkaa "ennaltaehkäisy ensin, ennaltaehkäisyn ja tulipalon yhdistäminen". Tehokkaiden palontorjuntatoimenpiteiden toteuttamisen lisäksi puhdastilan suunnittelussa on myös järjestettävä tarvittavat palontorjuntalaitteet. Puhdastilojen tuotanto-ominaisuudet ovat:
(1) Tarkkuuslaitteita ja -instrumentteja on paljon, ja niissä käytetään erilaisia syttyviä, räjähtäviä, syövyttäviä ja myrkyllisiä kaasuja ja nesteitä. Joidenkin tuotanto-osien palovaara kuuluu luokkaan C (kuten hapettumisdiffuusio, fotolitografia, ionien istutus, painatus ja pakkaus jne.) ja joidenkin luokkaan A (kuten yksittäisten kiteiden vetäminen, epitaksi, kemiallinen höyrypinnoitus jne.).
(2) Puhdastila on erittäin ilmatiivis. Tulipalon syttyessä henkilöstön evakuointi ja palon sammuttaminen on vaikeaa.
(3) Puhdastilan rakennuskustannukset ovat korkeat ja laitteet ja välineet kalliita. Tulipalon syttyessä taloudelliset tappiot ovat valtavat.
Edellä mainittujen ominaisuuksien perusteella puhdastiloissa on erittäin korkeat paloturvallisuusvaatimukset. Palosuojaus- ja vesihuoltojärjestelmän lisäksi on asennettava kiinteät sammutuslaitteet, ja erityisesti puhdastiloissa olevat arvokkaat laitteet ja instrumentit on määriteltävä huolellisesti.
Julkaisun aika: 11. huhtikuuta 2024