Palontorjuntatilat ovat tärkeä osa puhdasta huonetta. Sen merkitys ei johdu vain siksi, että sen prosessilaitteet ja rakennusprojektit ovat kalliita, vaan myös siksi, että puhtaat huoneet ovat suhteellisen suljettuja rakennuksia ja jotkut ovat jopa ikkunattomia työpajoja. Puhtaan huoneen kulkut ovat kapeat ja kiusalliset, mikä vaikeuttaa henkilöstön evakuointia ja tulen opettamista. Ihmisten elämän ja omaisuuden turvallisuuden varmistamiseksi suunnittelussa on toteutettava palontorjuntapolitiikka "ehkäisy ensin ennaltaehkäisyn ja tulipalon yhdistäminen". Sen lisäksi, että puhtaan huoneen suunnittelussa on tehokkaita palontorjuntatoimenpiteitä, myös tarvittavat palontorjuntatilat perustetaan. Puhtaan huoneiden tuotantoominaisuudet ovat:
(1) Käytetään monia tarkkuuslaitteita ja instrumentteja, ja käytetään erilaisia syttyviä, räjähtäviä, syövyttäviä ja myrkyllisiä kaasuja ja nesteitä. Joidenkin tuotantoosien palovaara kuuluu luokkaan C (kuten hapettumisdiffuusio, fotolitografia, ionin implantointi, tulostus ja pakkaus jne.), Ja jotkut kuuluu luokkaan A (kuten yksikristallin vetäminen, epitaksi, kemiallinen höyryn laskeuma jne. .).
(2) Puhdas huone on erittäin ilmatiivis. Kun tulipalo puhkesi, on vaikeaa evakuoida henkilöstöä ja sammuttaa tulipalon.
(3) Puhtaan huoneen rakennuskustannukset ovat korkeat ja laitteet ja instrumentit ovat kalliita. Kun tulipalo puhkesi, taloudelliset menetykset ovat valtavat.
Yllä olevien ominaisuuksien perusteella puhtailla huoneissa on erittäin korkeat palonsuojauksen vaatimukset. Palonsuoja- ja vesihuoltojärjestelmän lisäksi on myös asennettava kiinteät sammutuslaitteet, erityisesti arvokkaita laitteita ja välineitä puhtaassa huoneessa on määritettävä huolellisesti.
Viestin aika: huhtikuu-11-2024