Tiukan hiukkasten hallinnan lisäksi elektronisten puhdastilojen, kuten sirujen tuotantopajojen, integroitujen piirien pölyttömien työpajojen ja levyjen valmistuspajojen, lämpötilan ja kosteuden, valaistuksen ja mikroiskun hallinnan vaatimukset on tiukennettava. Staattisen sähkön vaikutus tuotantotuotteisiin on poistettava tiukasti, jotta ympäristö voi täyttää elektronisten tuotteiden tuotantoprosessin vaatimukset puhtaassa ympäristössä.
Elektroniikkapuhdastilan lämpötila ja kosteus tulee määrittää tuotantoprosessin vaatimusten mukaisesti. Jos tuotantoprosessille ei ole erityisiä vaatimuksia, lämpötilan tulisi olla 20–26 °C ja suhteellinen kosteus 30–70 %. Henkilökunnan puhdastilan ja olohuoneen lämpötilan tulisi olla 16–28 ℃. Kiinan kansallisen standardin GB-50073 mukaan, joka on linjassa kansainvälisten ISO-standardien kanssa, tämän tyyppisen puhdastilan puhtaustaso on 1–9. Luokkiin 1–5 kuuluvissa puhdastiloissa ilmavirtauskuvio on yksisuuntainen tai sekavirtaus; luokkaan 6 kuuluvissa puhdastiloissa ilmavirtauskuvio on ei-yksisuuntainen ja ilmanvaihto on 50–60 kertaa tunnissa; luokkaan 7 kuuluvissa puhdastiloissa ilmavirtauskuvio on ei-yksisuuntainen ja ilmanvaihto on 15–25 kertaa tunnissa; luokkiin 8–9 kuuluvissa puhdastiloissa ilmavirtauskuvio on ei-yksisuuntainen ja ilmanvaihto on 10–15 kertaa tunnissa.
Nykyisten määräysten mukaan luokan 10 000 elektroniikkapuhdastilan melutaso ei saisi ylittää 65 dB(A):a.
1. Elektronisen puhdastilan pystysuoran virtauksen täyden suhteen ei tulisi olla alle 60 % ja vaakasuoran yksisuuntaisen virtauksen puhdastilan vähintään 40 %, muuten kyseessä on osittainen yksisuuntainen virtaus.
2. Elektronisen puhdastilan ja ulkoilman välinen staattinen paine-ero ei saa olla alle 10 Pa, ja puhtaiden ja ei-puhtaiden alueiden, joilla on erilainen ilmanpuhtaus, välinen staattinen paine-ero ei saa olla alle 5 Pa.
3. Luokan 10000 elektroniikkapuhdashuoneen raikkaan ilman määrän tulisi olla seuraavien kahden arvon mukainen.
4. Kompensoi sisätilojen poistoilman ja raitisilman määrän summa, joka tarvitaan sisätilojen positiivisen paineen ylläpitämiseksi.
5. Varmista, että puhdastilaan syötetään vähintään 40 neliömetrin verran raitista ilmaa henkilöä kohden tunnissa.
Julkaisun aika: 8.4.2024