Prosessilaitteiden asennuksen puhdastiloihin tulee perustua puhdastilan suunnitteluun ja toimintaan. Seuraavat yksityiskohdat esitellään.
1. Laitteen asennusmenetelmä: Ihanteellinen tapa on sulkea puhdastila laitteiston asennuksen aikana ja olla ovi, joka vastaa laitteen katselukulmaa tai varata käytävä, jotta uudet laitteet pääsevät läpi ja pääsevät puhdastilaan järjestyksessä. Jotta asennusvaiheen lähellä oleva puhdastila ei saastuisi, tulee suojatoimenpiteillä varmistaa, että puhdastila täyttää edelleen puhtausvaatimukset ja sitä seuraavat vaadittavat työt.
2. Jos puhdastilatyötä ei voida keskeyttää jokaisen asennusjakson aikana tai jos on rakenteita, jotka on purettava, on käynnissä oleva puhdastila eristettävä tehokkaasti työalueelta: voidaan käyttää tilapäisiä eristäviä seiniä tai väliseiniä. Jotta asennustyötä ei estetä, laitteen ympärillä tulee olla riittävästi tilaa. Mikäli olosuhteet sallivat, eristysalueelle pääsee huoltokanavien tai muiden ei-kriittisten alueiden kautta: jos tämä ei ole mahdollista, on ryhdyttävä toimenpiteisiin asennustöiden aiheuttaman saastevaikutuksen minimoimiseksi. Eristysalueen paineen tulee olla sama tai alipaine. Puhtaan ilman syöttö on katkaistava korkealla alueella, jotta vältetään positiivinen paine ympäröivään puhdastilaan. Jos pääsy eristysalueelle tapahtuu vain viereisen puhdastilan kautta, kengissä kulkeutuvan lian poistamiseen tulee käyttää tahmeita tyynyjä.
3. Korkealle alueelle saapumisen jälkeen voidaan käyttää kertakäyttöisiä saappaita tai päällyskenkiä ja yksiosaisia työvaatteita puhtaan huoneen saastumisen välttämiseksi. Nämä kertakäyttötavarat tulee poistaa ennen karanteenialueelta poistumista. On kehitettävä menetelmiä eristysaluetta ympäröivän alueen tarkkailemiseksi laitteiston asennusprosessin aikana ja tarkkailun tiheys on määritettävä sen varmistamiseksi, että kaikki viereiseen puhdastilaan mahdollisesti vuotavat kontaminaatiot havaitaan. Eristystoimenpiteiden asennuksen jälkeen voidaan rakentaa erilaisia tarvittavia julkisia palvelutiloja, kuten sähkö-, vesi-, kaasu-, tyhjiö-, paineilma- ja jätevesiputket. Huomiota tulee kiinnittää toiminnasta syntyvän savun ja roskien hallintaan ja eristämiseen. mahdollisimman paljon, jotta vältetään tahaton leviäminen ympäröivään puhdastilaan. Sen pitäisi myös helpottaa tehokasta puhdistusta ennen eristysesteen poistamista. Kun julkiset palvelutilat ovat täyttäneet käyttövaatimukset, koko eristysalue tulee puhdistaa ja dekontaminoida määrättyjen puhdistusmenetelmien mukaisesti. Kaikki pinnat, mukaan lukien kaikki seinät, laitteet (kiinteät ja siirrettävät) ja lattiat, tulee imuroida, pyyhkiä ja mopata kiinnittäen erityistä huomiota laitesuojien takana ja laitteiden alla oleviin puhdistusalueisiin.
4. Laitteen suorituskyvyn alustava testi voidaan suorittaa puhdastilan ja asennettujen laitteiden todellisten olosuhteiden perusteella, mutta myöhempi hyväksyntätestaus tulee suorittaa, kun puhtaan ympäristön ehdot täyttyvät täysin. Asennuspaikan olosuhteista riippuen voit aloittaa eristysseinän huolellisen purkamisen; jos puhtaan ilman syöttö on katkaistu, käynnistä se uudelleen; Tämän työvaiheen aika on valittava huolellisesti, jotta se minimoi häiriön puhdastilan normaaliin työhön. Tällä hetkellä saattaa olla tarpeen mitata, täyttääkö ilmassa olevien hiukkasten pitoisuus määritellyt vaatimukset.
5. Laitteiston ja tärkeimpien prosessikammioiden sisäpuolen puhdistus ja esikäsittely tulee suorittaa normaaleissa puhdashuoneolosuhteissa. Kaikki sisäkammiot ja pinnat, jotka joutuvat kosketuksiin tuotteen kanssa tai ovat mukana tuotteen kuljetuksessa, on pyyhittävä vaaditulle puhtausasteelle. Laitteen puhdistusjärjestyksen tulee olla ylhäältä alas. Jos hiukkaset leviävät, suurempia hiukkasia putoaa laitteen pohjalle tai maahan painovoiman vaikutuksesta. Puhdista laitteen ulkopinta ylhäältä alas. Tarvittaessa pintahiukkasten havaitseminen tulee suorittaa alueilla, joilla tuote- tai tuotantoprosessivaatimukset ovat kriittisiä.
6. Kun otetaan huomioon puhdastilan ominaisuudet, erityisesti suuri pinta-ala, suuri investointi, suuri teho ja erittäin tiukat puhtausvaatimukset korkean teknologian puhdastiloissa, tuotantoprosessilaitteiden asennus tämän tyyppiseen puhdastilaan on samankaltaista kuin tavallisesta puhdastilasta. Ei ole erityisiä vaatimuksia. Tätä tarkoitusta varten julkaistussa kansallisessa standardissa "Puhtaiden tilojen rakentamisen ja laadun hyväksymisen koodi" tehtiin joitain säännöksiä tuotantoprosessilaitteiden asentamisesta puhdastiloihin, mukaan lukien pääasiassa seuraavat.
A. Jotta tuotantoprosessilaitteiden asennuksen aikana "tyhjäksi" hyväksytylle puhdastilalle (alueelle) ei saastuta tai jopa vaurioitua, laitteen asennusprosessissa ei saa esiintyä liiallista tärinää tai kallistusta, eikä se saa olla jakaa ja saastuttaa laitteiden pintoja.
B. Jotta tuotantoprosessilaitteiden asennus puhtaaseen huoneeseen (alueelle) saadaan järjestykseen ja ilman tai vähemmän istuen ja noudattaa puhdasta tuotannon hallintajärjestelmää puhdastilassa, varmista, että tuotantolaitteiden asennusprosessi on suojattu erilaisiin "tyhjinä" hyväksyttyihin "valmiisiin tuotteisiin" ja "puolivalmiisiin tuotteisiin", materiaalit, koneet jne., joita on käytettävä asennusprosessissa, eivät saa päästää tai tuottaa (mukaan lukien normaalin puhtaan käytön yhteydessä). tilaa pitkään) epäpuhtaudet, jotka ovat haitallisia valmistetuille tuotteille. Puhdastiloissa tulee käyttää materiaaleja, jotka ovat pölyttömiä, ruostumattomia, rasvattomia eivätkä tuota pölyä käytön aikana.
C. Puhdastilan (alueen) rakennuksen sisustuspinta tulee suojata puhdastilapaneeleilla, kalvoilla ja muilla materiaaleilla; laitteen taustalevy tulee tehdä suunnittelu- tai laiteteknisten asiakirjojen vaatimusten mukaisesti. Jos vaatimuksia ei ole, tulee käyttää ruostumattomia teräslevyjä tai muovilevyjä. Itsenäisiin perustuksiin ja lattiavahvikkeisiin käytettävät hiiliteräsprofiilit tulee käsitellä korroosionestoaineella, ja pinnan tulee olla tasainen ja sileä; tiivistykseen tulee käyttää elastisia tiivistemateriaaleja.
D. Materiaaleihin tulee merkitä ainesosat, lajikkeet, valmistuspäivä, säilytysaika, rakennusmenetelmäohjeet ja tuotetodistukset. Puhdastilassa (-alueilla) käytettäviä koneita ja työkaluja ei saa siirtää ei-puhtaan tilaan (alueille) käyttöä varten. Koneita ja työkaluja ei saa siirtää puhdastilaan (alueelle) käyttöä varten. Puhtaalla alueella käytettävien koneiden ja työkalujen tulee varmistaa, että koneen paljaat osat eivät tuota pölyä tai ryhdyttävä toimiin estääkseen pölyn saastuttamasta ympäristöä. Yleisesti käytetyt koneet ja työkalut tulee puhdistaa ilmalukossa ennen siirtämistä puhtaalle alueelle, ja niiden on täytettävä öljyttömiä, likattomia, pölyttömiä ja ruostettomia vaatimuksia, ja ne tulee siirtää tarkastuksen ja kiinnityksen jälkeen. "Puhdas" tai "Vain puhdas alue" -kyltti.
E. Puhdashuoneen (alueen) tuotantoprosessilaitteet on asennettava "tiettyihin kerroksiin", kuten korotettuihin lattioihin. Laitteen perustus tulee yleensä asettaa alemmalle tekniselle parvikerrokselle tai sementtihuokoiselle levylle; toiminnot, jotka on purettava säätiön asentamiseksi. Käsisähkösahalla leikatun lattian rakennetta tulee vahvistaa, eikä sen kantavuus saa olla alkuperäistä kantavuutta pienempi. Kun käytetään itsenäistä teräsrunkorakenteen perustaa, sen tulee olla galvanoitua materiaalia tai ruostumatonta terästä ja paljaspinnan tulee olla tasainen ja sileä.
F. Kun tuotantoprosessilaitteiden asennusprosessi puhdastiloihin (alueelle) vaatii reikien avaamista seinäpaneeleihin, alakattoihin ja korotettuihin lattioihin, poraustoimenpiteet eivät saa halkaista tai saastuttaa seinäpaneelien ja alakattopaneelien pintoja, jotka on tarpeen säilytetään. Korotetun lattian avaamisen jälkeen, kun perustusta ei voida asentaa ajoissa, tulee asentaa turvakaiteet ja vaaramerkit; kun tuotantolaitteet on asennettu, reiän ympärillä oleva rako on tiivistettävä, ja laitteiden ja tiivistyskomponenttien tulee olla joustavassa kosketuksessa, ja tiivistekomponentin ja seinäpaneelin välisen yhteyden tulee olla tiivis ja kiinteä; tiivistepinnan työhuoneen toisella puolella tulee olla tasainen ja sileä.
Postitusaika: 16.1.2024